Chambre de traitement cryogénique pour l'industrie des puces électroniques

Avec le chambre de traitement cryogénique pour l'industrie des puces électroniques - Températures précises et aptitude pour les salles blanches.

Le chambre de traitement nouvellement développée est entièrement réalisée en acier inoxydable et donc utilisable dans des salles blanches. La porte automatique permet un chargement et un déchargement efficaces de l'installation. Une connexion aux Manufacturing Execution Systems (SECS/GEM) ainsi qu'aux systèmes Overhead Hoist Transfer est assurée . L'identification des lots se fait par des codes QR, ce qui permet une intégration parfaite dans les processus de production existants.

Vous trouverez ici d'autres exemples d'applications du traitement thermique pour l'industrie des semi-conducteurs: Systèmes de fours pour la production de semi-conducteurs | Weiss Technik – vötschoven

Nos points forts :

• Installation en salle blanche (extérieure, comme intérieure) ; classe ISO 5
• -75°C atteignable
• Connexion au Manufacturing Execution System (SECS/GEM)
• Connexion au système Overhead Hoist Transfer (porte automatique)
• Identification des lots par code QR

Inclus dans l'équipement de base :

• Purge à l'azote pour créer une atmosphère  inerte 
• Dispositif de mesure de l'oxygène 
• Porte à ouverture automatique 
• Filtration Hepa de l'air entrant 
• Dépression constante dans la partie machine pour éviter les émissions de particules